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一、结构实用性: CVD炉 cvd电炉 rtp炉 快速退火炉 立式电炉/管炉 石磨希电炉 RTP CVD炉
1、
2、先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达
二、使用安全性:采用了:速激活炉 粉体电炉 快速热氧化炉 管式电炉 立式电炉 箱式电炉气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
1、
2、超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动断电及报警。
3、漏电保护功能,当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。管式电炉 高温电炉CVD炉
三、控制智能化:真空气氛 旋转高温电炉 电炉 马弗炉式管炉 快速退火炉 马佛炉 CVD炉
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2、国产智能控温系统可定值升温(不可编程),国产程序控温系统可编辑50段程序控温,进口程序控温系统可编辑40段程序控温。 CVD电炉 RTP电炉
3、电炉内配置有485转换接口,可实现与计算机相互连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
四、设计独立性:真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉