◆ 外形尺寸(不包括报警灯) 1650(W)×1750(D)×2450(H)mm ◆ 仓体结构(不锈钢,约1200升) 1003(W)×1270(D)×915(H)mm ◆ 电极面积 (水冷垂直电极) 1117.6(D)×609.6(H)mm ,13层 ◆ 等离子发生器(美国AE) 频率40KHZ,功率0-10KW连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作 ◆ 控制系统 触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制) 英国爱德华(ULVAC)爪式干泵 GV160 (160m3/h) 英国爱德华罗茨泵 EH1000(280L/S) 台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高真空计、传感器 ◆ 充气系统 美国MKS高电子质量流量计(五路气体配制) 美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀 日本SMC及CKD高真空气阀组件 |
|