真空等离子清洗机
价格:电议
地区:山东省 烟台市
电 话:0535-8236617
手 机:13356932252
传 真:0535-8236637
 外形尺寸

 570(W)×420(D)×740(H)mm

  仓体结构(不锈钢,约20升)

 420(W)×270(D)×170(H)mm

  电极面积

 250(W) ×190(D) mm,3层     清洗模式

 RIE or DP模式自动转换

<RIE DIV DP模式自动转换< or>

  等离子发生器(韩国KM)

 频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配

  控制系统

 触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件,

性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

  真空系统

 德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 进口气动角阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

  压力控制

 PID闭环自动稳压控制   气路系统

 2路工艺气体+1路氮气配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路