产品介绍
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本家发表光学干杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
ET5000可以自动高测量尺寸880mm×230mm的大型样品。加载/卸载样品平台是可选的。其具有良好的稳定性、高和强大的功能。在平板显示器FPD，晶片，硬盘和其他纳米尺度上的应用广泛。

主要特点：
（1）的台阶再现性与线性度。
（2）超高真直度，可确保量测图形不受任何影响，并可在真直度的保证下进行长距离测量。
（3）采用超低噪音直动式 LVDT，超低测定力的触针可任意调节。
（4）配备高分辨率的 CCD 即时进行高定位测量。
（5）可对应各种国际规范，测定参数多达 60 多种。
（6）适用于各种与纳米材料有关的MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。

技术参数
样品尺寸：880 × 680 mm
再现性：1 σ 1 nm
测量范围：Z: 100 μm X: 100 mm
分辨率：Z: 0.1 nm X: 0.1 μm
测应力：0.5 μN to 500 μN