仪器简介：
德国Kleindiek Nanotechnik超微操纵仪的驱动单元是由压电陶瓷构成的纳米马达，因此它的特点是能够进行纳米级移动，在保证纳米级移动的同时其的设计可以同时做到毫米级的移动范围，整个操纵装置全部由纳米马达驱动，从而保证了系统体积非常小，可以很容易地放入电子显微镜腔室内。

德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪有以下型号以适用于不同的环境：
MM3A-LMPMicromanipulator for Light Microscopy
MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy
MM3A-UHV Micromanipulator for UHV
MM3A-LTMicromanipulator for low temperature

德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪MM3A-EM以其高、超灵活、易操作、小体积成为电子显微镜用户的得力助手，改变了电子显微镜只用于样品观察的传统，直接在样品室内操纵样品，由此衍生了许多丰富多彩的应用，使得对样品的研究更深一步。MM3A的移动范围是三维空间的，X、Y轴可作±120°摆动，Z轴可作12mm的伸长，整个空间的移动范围达到100立方厘米。系统驱动全部由压电陶瓷来实现，由此保证了Z轴每个步进的可达0.5nm，当采用快速移动模式时，速度可达到2mm/s，可以说是同时兼具了高和高效率，的大行程设计，使得Z轴总行程可达到12mm，纳米级的移动、厘米级的移动范围是MM3A的特点。

MM3A-LS以其高稳定性、高、无漂移的鲜明特性，被广泛应用于生命科学领域的高灵敏度膜电位测量领域。衍生产品MM3A-LMP与光学显微镜的结合，被广泛应用于半导体的探针系统中，可适应45nm、65nm、90nm工艺的要求。
显微操纵仪的极细微的漂移都会影响到细胞膜电位的测量，这就要求显微操纵仪尽量能做到零漂移，德国Kleindiek Nanotechnik公司生产的MM3A很好地解决了漂移的问题，既使是长时间的测量也没有漂移的现象。MM3A体积相对传统的显微操纵仪而言小了很多，长度约60mm重约45g，这种设计保证了系统的稳定性并降低了系统噪音水平，震动几乎对MM3A不产生影响。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安装在载物台的任何地方。在操纵仪的前端有叉式的玻璃管夹持器，玻璃管的更换简单易操作。


技术参数：
MM3A-EM

Length / Width / Height60/22/25 mm
Operating range XY / Z240°/12 mm
Scan range X / Y / Z20/15/1µm
Max Speed XY / Zup to 10/ 2 mm/s
Resolution X10-7 rad (5 nm)
Resolution Y10-7 rad (3.5 nm)
Resolution Z0.25 nm
Hysterisis deviation Z<200 nm
Hysterisis Angle (α) Z<10° (0.2 rad)
Lowest temp273K
Highest temp353K
Lowest pressure10-7 mbar
Holding force1 N
Holding torque3 Nmm - 4 Nmm
Lift Y5g
Signal resistance (probing)7.0Ω
Max voltage (probing)100V
Max current (probing)100 mA



主要特点：
德国Kleindiek Nanotechnik生产的纳米显微操纵仪的突出特点：

纳米操纵度：安装在MM3A操纵臂前端的钨探针在X，Y方向小移动距离为5nm，在Z方向小移动距离为0.5nm。
快慢可调的操作速度：可以选择一个步进0.5nm，也可以选择移动速度1cm/S。MM3A将大范围和超精细操作完美地结合在一起。
紧凑的结构设计：MM3A体积小，可以很宽松地在电镜腔室内安装1~8个系统。
三维大空间操作范围：X、Y方向可以做240度的旋转，Z轴方向做12mm的伸长，MM3A可操作的空间范围达100cm3。
几乎无漂移：我们曾经做过实验MM3A钨探针针尖在场发射电镜放大100K条件下每隔一分钟拍一张照片，持续一小时后通过对照片的分析得出，在排除电镜电压不稳定因素外，MM3A几乎不产生漂移。
与电镜的连接：MM3A安装在加工好的平台上，该平台再固定在电镜的样品台上，整个安放过程十分方便，几分钟就可完成，不使用时将平台卸下取出既可。控制线通过电镜腔室上的空法兰穿出并密封，不会影响电镜的真空。