压电响应力显微镜（PFM）：专用于研究压电、铁电材料纳米尺度的压电响应特征。
PFM成像机制：
与电压有关的压电材料的接触力学；
微悬臂的动态性能
表面的机电响应和静电力与PFM信号之间的转换机制
材料内部的电场分布--决定分辨率、畴反转行为、电滞回线机制