一、仪器简介：

这是一款适合教学与科研兼顾的SPM仪器，该机集成了扫描隧道显微镜、原子力显微镜的接触、侧向力工作模式；可以实现薄膜、块状等多种材质样品的纳米尺度形貌表征和分析。
如需要检测粉体、溶液、纤维、生物样品等柔软、易黏附的样品，请选购配置了AFM轻敲模式的ZL AFM-III型扫描探针显微镜。原理细节可以参考“了解模块”中的相关内容。

二、技术参数

1.扫描系统：
1.1 扫描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲线；AFM接触/横向力模式，力曲线测量
1.2 扫描范围：50μm*50μm 单一多量程自适应扫描器不更换技术，50μm扫描器可达HOPG原子分辨率
1.3 分辨率：
STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定标
接触模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定标
单一多量程自适应扫描器不更换技术，50μm扫描器可达HOPG原子分辨率
1.4 样品台尺寸：直径≤Φ65mm，厚度≤30mm，重量≤15g
1.5 探针识别：自动识别当前针尖类型，软硬件自动切换到相应的工作模式，无需人工干预。
1.6 探针保护：独特设计的针尖保护技术，包括自动进针保护和平滑移动保护，能有效降低样品对针尖的损伤，使仪器长时间保持高分辨图像。
1.7 探针趋近：高高速伺服电机，控制针尖自动逼近样品，行程<30mm，步长<23nm
1.8 样品移动：手动精密机械二维移动平台（移动范围5mm×5mm，3μm）。 可选配计算机控制高电控样品移动平台。
1.9纳米加工：矢量刻蚀功能 、图形刻蚀功能

2.控制系统：
2.1 控制/采集：采用双16位扫描/采样差分同步独立高压放大技术，16通道双16位A/D （相当于23位）；12通道16位D/A；4通道双16位D/A（相当于23位）
2.2 反馈方式：8通道 数字化反馈+数控模拟反馈
2.3 中枢控制器：32位ARM技术，16 M RAM ，2M Flash ROM
2.4 高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；4通道双16位D/A（相当于23位）提供扫描器XYZ 三个方向的控制电压；可扩展到8通道
2.5 计算机接口：EPP模式并行口 / USB2.0接口 可选
2.6 扫描频率：0.1～300Hz
2.7 扫描角度：-180~180连续可调
2.8 图像采样点：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可调
2.9 电流检测灵敏度≤10pA
2.10 力检测灵敏度≤5pN
2.11预置隧道电流：1pA～50nA
2.12 偏置电压：-10～+10V
　
3.软件系统：
3.1 操作系统：Windows 98/2000/XP
3.2 在线控制软件：四窗口图像界面，可观察4个不同数据通道同步成像;系统智能记忆功能 : 一个参数改变，相关参数会根据系统经验自动调节到范围；压电陶瓷非线性校正，曲面拟合校正，样品倾斜校正等。
3.3 图像处理软件：3D显示，滤波处理，图像修饰，边缘增强、形态学处理、图像格式转换，图像 几何变换、调色板设置等。
3.4 数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、各种曲线统计/分析等。
3.5 软件开发模板：便于用户进行二次开发，完成特殊的数据处理功能。
3.6 软件服务包：软件以插件方式终身享受升级服务。
　
4.工作条件：
4.1 环境温度：0-35摄氏度
4.2 相对湿度：0-65%
4.3 工作电压：220V（±10%），50Hz
　
5.可选配的功能模块技术参数--样品定位辅助模块
5.1 高分辨CCD光学显微系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数80—600倍，视场 1.6mm，工作距离10cm，配套控制及成像软件。一体式设计，工作过程中不必移开，可全程随时观测。
5.2 高电控样品移动平台：计算机自动控制，配合光学显微系统进行样品移动和定位。全程可视
5.2.1 移动范围5mm*5mm，单步小步长50nm
5.2.2 高电控移动平台和单一大量程自适应扫描器技术结合，实现从量程到小几纳米扫描范围内，全程计算机控制样品定位，无盲点
5.2.3 直接用鼠标拖动待测区到目的地，计算机控制移动平台自动移动
5.2.4 可任意设置原点位置，一键返回（计算机控制移动平台自动回到设置的原点位置）
5.2.5 可任意标记多个测样点，编制定位路径，计算机控制移动平台自动到达各设定的测样点
5.2.6 可直接输入X、Y方向移动数值，计算机控制移动平台自动定位国内配置，其它厂商只提供手动调节的精密螺杆移动平台，无法实现样品精密定位搜寻。
5.3 单一 大量程自适应扫描器：50μm扫描器可达HOPG原子分辨率 ，测样过程中不用更换扫描器可实现从50微米—几纳米扫描范围连续定位高成像（独有关键技术）

三、主要特点：

1.具有国内SPM仪器中的综合分辨率；50um*50um量程扫描器分辨率：STM X-Y方向0.1nm，Z方向0.01nm；AFM（接触模式） X-Y方向0.2nm，Z方向0.03nm；AFM（轻敲）X-Y方向0.2nm，Z方向0.1nm；卓伦公司技术：自适应多形变量程模式压电陶瓷扫描器。

2.具有国内SPM仪器中智能化的高电控样品移动平台，具有以下功能：
2.1 移动范围5mm*5mm，单步小步长50nm
2.2 直接用鼠标拖动待测区到目的地，计算机控制移动平台自动移动
2.3 可任意设置原点位置，一键返回（计算机控制移动平台自动回到设置的原点位置）
2.4 可任意标记多个测样点，编制定位路径，计算机控制移动平台自动到达各设定的测样点
2.5 可直接输入X、Y方向移动数值，计算机控制移动平台自动定位

3.仪器采用智能针尖自识别技术：当需要在STM/AFM/LFM等工作模式之间相互转换时，只需要替换相应的针尖架，仪器会自动识别当前针尖类型，然后软、硬件会自动切换到相应的工作模式，无需人工干预；卓伦公司技术：扫描探针显微镜的智能针尖连接结构。

4.仪器配置软件服务包：软件部分终身享受升级服务。软件是仪器的大脑，卓伦公司拥有一支年轻的研发队伍，他们曾是国内套基于Windows的拥有自主知识产权的SPM软件系统的开发者。长期的经验积累和不羁的创新思维，造就了全新的MicroNano NewSPM软件系统。