CSPM5000扫描探针显微镜是本原历经19年技术积淀而推出的新一代产品，在控制系统性能、探头结构和性能、软件功能等方面均有大幅技术提升。CSPM5000同时也是本原公司所承担的国家高技术研究发展计划（863计划）项目——“扫描探针显微集成系统的研制”项目的成果转化产品，集成了本公司在该项目攻关过程中所取得的多项技术创新，为高端研究型仪器。
    CSPM5000采用单一的扫描隧道/原子力探头，集成 了扫描隧道显微镜、原子力显微镜、摩擦力显微镜、磁力和静电力显微镜、导电原子力显微镜、液相扫描探针显微镜、环境控制扫描探针显微镜，工作模式包括接触、轻敲、相移成像、抬起和纳米加工等。
    CSPM5000采用32位数字信号处理器、10M/100M快速以太网接口和高速双16位AD/DA采集转换，系统功能、稳定性、控制采集和速度及可扩展性均为国内同类仪器的水平。

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● 集成原子力显微镜(AFM),横向力显微镜(LFM),扫描隧道显微镜(STM),导电原子力显微镜(C-AFM), 磁力显微镜(MFM)和静电力显微镜(EFM)
● 原子力显微镜具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式
● 具备液相扫描探针显微镜和环境控制扫描探针显微镜功能
● 具有高实时环境温度、湿度检测功能
● 具有I-V曲线、I-Z曲线、力-距离曲线和振幅-距离曲线等测量分析功能
● 具有图形化刻蚀、压痕/机械刻画、矢量扫描、DPN浸润笔等模式的纳米加工技术
● 快速全自动进样，无需手工粗调
● 只需要更换探针架，即可在STM和AFM等不同类型仪器中切换
● 全数字控制,系统状态、仪器类型、扫描器和探针架参数智能识别和控制
● 探头内置亮度连续可调的照明光源
● 主控制系统采用德州仪器(TI)32位高性能数字信号处理器(DSP)
● 主控制系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)与计算机连接
● 样品尺寸增大至直径45mm、厚度30mm
● 基于Windows Vista/XP/2000/9X的在线控制软件和后处理分析软件
● 具备双向扫描(Trace-Retrace)、往返扫描功能
● 具备实时在线三维图像显示功能
● 具备自动更新扫描图像亮度、对比度功能
● 扫描图像和当前全部工作环境参数同步保存
● 具有数据导出功能，用户可取得原始数据
● 具有国家、国际相关标准全系列参数的样品粒度和粗糙度自动分析功能
● 可连续采集、存储和重现动态过程（纳米电影）
● 针尖表征及图像重建功能(针尖形貌估计/图像重建/用已知针尖重建图像)
● 按功能模块划分的总线插卡式结构，便于日后系统维护和升级
● 可附加光学显微辅助系统和第二显示器

技术指标

• 系统功能
原子力显微镜(AFM)，包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起(Lift Mode)等多种工作模式
横向力显微镜（LFM），导电原子力显微镜（C-AFM）,磁力显微镜(MFM)，静电力显微镜(EFM)
扫描隧道显微镜（STM），包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等
液相扫描探针显微镜成像，环境控制扫描探针显微镜成像
纳米加工和操纵，包括图形化刻蚀、压痕/机械刻画、矢量扫描、DPN浸润笔等模式
• 分辨率
原子力显微镜(AFM)：横向 0.26nm, 垂直 0.1nm（以云母晶体标定）
扫描隧道显微镜(STM)：横向 0.13nm, 垂直 0.01nm（以石墨晶体标定）
• 参数性能
电流检测灵敏度：≤10pA
力检测灵敏度：≤5pN
图像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024,2048X2048
扫描角度：0～360°
扫描频率：0.1～100Hz
预置隧道电流：0.001～10nA
偏置电压：-10～+10V
温度检测：0.1℃，湿度检测：0.5％RH
• 电子控制系统
中央处理器：德州仪器（TI）32位数字信号处理器(DSP)，时钟主频600MHz，运算速度4800MIPS
20通道高速DAC
20通道高速ADC
通信接口：10M/100M快速以太网（Fast Ethernet 10/100）接口
• 机械性能
样品尺寸：可达直径45mm，厚度30mm
全自动步进电机控制进样系统：行程30mm，定位50nm/步
• 软件系统
基于Windows Vista/XP/2000/9X的在线控制软件和后处理软件

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1.功能齐全
CSPM5000扫描探针显微镜功能齐全,涵盖扫描隧道显微镜、原子力显微镜、导电原子力显微镜、横向力/摩擦力显微镜、磁力/静电力显微镜、环境检测及控制扫描探针显微镜(气氛、温湿度、样品加热等)、纳米加工......

2.超高性能DSP
CSPM5000扫描探针显微镜控制系统内置了德州仪器(TI)公司的TMS320DM642数字信号处理器(DSP)，其运算速度达到了每秒4800兆次运算(4800MIPS)。 性能超卓的DSP赋予了仪器一颗奔驰的心，使仪器能够从容应对各种复杂的信号处理任务。

3.多种纳米加工功能
CSPM5000扫描探针显微镜可进行多种纳米加工，包括图形化纳米刻蚀、压痕/机械刻画、矢量扫描、DPN浸润笔等。

4.温度、湿度实时检测
CSPM5000扫描探针显微镜内置环境温度、湿度实时检测。用户可随时对当前的检测环境进行监控。

5.内置实时操作系统
CSPM5000扫描探针显微镜内置了一个实时操作系统spm/DNA（spm/DNA为本原的商标）。spm/DNA使仪器能够同时从容驾驭多个复杂的任务，保证系统的稳定性、实时性和灵活性。spm/DNA独具匠心的设计，还为用户带来更多的安全感。例如，spm/DNA独有的探针保护功能，在用户的控制计算机发生故障时（甚至是死机，或用户故意拔掉计算机电源时），仍能保障探头中的探针不被损坏。

6.采用以太网接口
CSPM5000扫描探针显微镜与计算机的接口采用以太网接口(Ethernet)，计算机与仪器的连接十分简便，就像把您的计算机连接到局域网、集线器、宽带网一样简单。
采用以太网接口，还带来诸多好处：
1、可实现更灵活的拓扑连接,将仪器连接到局域网上，一个仪器可以同时与多部计算机连接,极大方便系统扩展及二次开发；
2、更规范的软件通信协议,更好的开放性,通信采用国际标准的TCP/IP协议,软件编程接口规范统一,方便二次开发,提高软件的可维护性；
3、连接距离不受限制，直连网线可以长达100米，如果连接到局域网或广域网上则距离可以不受限制；
4、速度更快,满足大流量数据传输的需求,保证系统稳定性；
5、排除计算机对仪器可能造成的电气干扰；
6、兼容性高，用户可以采用台式机或笔记本作为控制主机。

7.具有两级可读数样品调节机构
CSPM5000扫描探针显微镜具备两级可读数样品调节机构，可对样品进行的检测区域定位。

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