【Hitachi】日立扫描电子显微镜S-3400N
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图文详情
产品属性
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S-3400N具有新开发的电子光学系统,具有更多的自动化功能,操作界面更友好。
项目 描述 |
SE分辨率 3.0 nm (30 kV),高真空模式 10 nm (3 kV), 高真空模式 |
BSE分辨率 4.0 nm (30 kV),低真空模式 |
放大倍率 ×5~×300,000 |
加速电压 0.3~30 kV |
低真空范围 6~270 Pa |
样品尺寸 直径200 mm |
样品台 I型 II型 |
X 0~80 mm 0~100 mm Y 0~40 mm 0~50 mm Z 5~35 mm 5~65 mm R 360º 360º T -20~+90º -20~+90º |
样品高度 35 mm (WD=10 mm) 80 mm (WD=10 mm) |
马达驱动 手动 五轴马达驱动 |
电子枪 预对中钨灯丝 |
物镜光栏 可移动式4孔物镜光栏 |
枪偏压 四阶梯度偏压 |
检测器 二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
分析位置 WD=10 mm, TOA=35o |
控制 鼠标、键盘,手动旋钮 |
自自动调校 自动灯丝饱和、自动四偏压、自动枪对中、自动束流设定、 自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度 |
特点:
1. S-3400N具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头,可在低加速电压下成像。
4. S-3400N II型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品可达80mm。
5. 分析样品室可以同时安装EDS,WDS 及EBSD等附件。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效。