日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度。
特点：
1. 的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成 

项目		SU8020	SU8030				SU8040
二次电子分辨率		1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm）
		1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压		0.1～30kV
观测倍率		20～8000,000(底片输出)
		60～2,000,000（显示器输出）
样品台
马达驱动		5轴				REGULUS样品台
行程	X	0～50mm		0～110mm
	Y	0～50mm		0～110mm		0～80mm
	Z	360°
	T	-5～70°
	R	1.5～30mm			1.5～40mm
装载尺寸		100mm（）			150mm（）			150mm（）
		150mm（选配）			200mm（选配）
探头
标配	Lower	高立体感图像
	Upper	高分辨SE、LA-BSE图像
	Top	SE的电位衬度像、HA-BSE图像
选配	STEM	明场像、暗场像
	YAG 探头	BSE图像
	半导体探头	BSE图像
	EBIC	电子束感生电流图像
	EDS	元素分析
反污染措施
冷指		标配
物镜光阑		内置自清洁功能
电子枪		内置加热器
真空系统
离子泵		3台
分子泵		1台
机械泵		1台