激光共焦显微镜
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产品属性
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仪器简介:
●采用UV 激光光源,分辨率可达120纳米
●聚焦小步进/行程:10纳米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米
●无须复杂的制样过程,样品无须镀膜导电处理,观察时无须真空,可放置重样品(10KG)
●激光安全等级:CLASS 2
●图像感应装置:光电倍增管
技术参数:
1 测量
2D测量:测量范围1.5mm~1 μm;
不仅是线宽度,也能进行圆的直径等几何测量。
3D测量:测量范围1mm~0.5 μm;
体积、容积、表面积等3D测量;可测量透明膜厚度。
粗糙度分析:适合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析;
不公是线粗糙度,面粗糙度也能检测。
2 3D形貌
能获得3D色彩等多种多样的信息
等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。
3 高分辨率观察
显示器倍率为14,400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高对比度的解像度。
可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉进一步提高分辨率。
实时观察。
观察范围是2,560X2,560μm
主要特点:
● 世界的分辨率、高、XY分辨率可达0.12微米
●3D成像,高测量,Z轴小读数0.01微米。
●实时像的获得和测量同时。
●408nm激光采用