『参数』：

重现性 < 0.002mm
台面大小 700*650mm
解析力标准 0.001mm
机台重量 750kg(包括机架)
平面 3.5+5L/1000μm
影像放大倍率 20x-120x 30x-225x
示值(X、Y） 3+5L/1000μm
光学放大倍率 0.65X-4.5X
工作行程(X/Y/Z) 600*500*200mm 1000*800*200mm
CCD 专用彩色1/3英寸高解析480TV线
外形尺寸(WxDxH) 1250*808*1680mm
可选配置 无死角旋转灯
测量范围(X*Y*Z) 600*500*100mm
工作行程 811*1250*1680mm
影像摄取系统 sony芯片高解析彩色CCD
测量理论 晶元光罩坐标系统
镜头     SEVEN OCEAN OPTICAL 自动变焦镜头
控制系统     全自动闭环控制系统，日本松下PANASONIC伺服闭环控制系统
工作台结构 00级花岗岩
仪器结构 00级花岗岩
电源 220V 50±5HZ 功率 1KV
温度范围 20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m
湿度 40%-70%
震动 < 30HZ
工作台承重 3-5KG均布
『新技术：晶元光罩技术——多国发明』：
◇　纯软件工作平台
◇　特殊光学技术无阿贝误差
◇　非龙门式大型外架设计，动量降至，无刚性不足与运动迟滞之问题
◇　平面坐标测量
◇　不需要光栅尺、不需要编码器

『测量软件』：
※　CNC电动桌面（以软件功能控制工作台面，增加操作人员使用上及操作上的方便性）
※　有强大的环形、矩形阵列功能， 并能运行CNC自动测量。
※　CNC自动测量编程：可以自定义控制表面光（上灯光源）、穿透光（底光）、各种角度光（旋转灯）、CCD对比度来做CNC自动测量，避免了以前用底光做CNC的局限性。
※　CNC自动测量编程：可以编程有高度差的测量，并且可以自定义客户坐标进行编程与保存。
※　存档照片输入与实时影相中的实际工件进行对比功能
※　实时影像中可任意设置坐标原点(0,0)
※　输出到AutoCAD图形自动摆正功能
※　可输入AutoCAD的标准工程图进入实时影像中与实际工件对比功能
※　鸟瞰功能：可检视当前绘图位置
※　直接用键盘输入圆及线段功能
※　直接画线、圆、弧时，可以同时在AutoCAD及本测绘仪软体中同时生成相应的图形
※　强大的去毛刺功能，可以自动抓取线、圆、弧，减少人为测量造成的误差。
※　智慧型取R角功能
※　测量系统：对 物体的长宽及 线、圆、弧、角度等进行测量与标注
※　绘图系统：画线、圆、弧及线段之垂直线、水平。
※　亦可修改图形，并将图形输入到AutoCAD
※　图形输入到AutoCAD中，可将当前影像拍下以JPEG格式储存
※　自动寻边，自动捕捉
※　XY可移动平台：可转动X、Y轴向，前后左右移动桌面，避免用手移动工件，造成检测误差
※　辅助对焦：使画面达到清晰度
※　自动对焦：电脑自动判断影像的清晰面。