该型号单道扫描等离子发射光谱仪的部分是高分辩率Czerny Turner单色仪光学系统。它配有3600刻线/mm或者4320刻线/mm的全息光栅，窄的入射狭缝及出射狭缝, 具有很高的分辩率和极低的杂散光，保证了系统在分析复杂基体样品时，受光谱叠加的影响减到小。采用直接驱动装置传动光栅，保证了极快的分析速度和好的重现性。采用40.68MHZ RF发生器以保证高的信号背景比（S/B）和很低的检出限。采用新技术设计了优良的检测系统，保证了分析质量的可靠。以上这些特点使DGS-Ⅲ 在等离子体发射光谱分析中具有非常好的检出限和任意选择分析元素的灵活性。从而可分析各种物资材料的样品成分, 特别在各种高纯材料及高纯稀土的杂质成分分析方面更具有优势。该仪器在分析指标、稳定性、分析速度、软件等各方面的技术指标均达到国际先进水平。

ICP电感耦合等离子体发射光谱仪作为一种大型精密无机分析仪器，可测定各种物质中从微量到常量的七十多种元素(如Mn、P、Si、Cr、Ni、Cu、Mo、Ti、Zn、Al、Au、Ag、Fe、Co)等的定量分析.广泛应用于稀土分析、贵金属分析、合金材料、电子产品、医药卫生、冶金、地质、石油、化工、商检、环保等部门和钕铁硼、硅、硅铁、钨、钼等领域需要检测元素的定量分析及各种高纯材料的杂质成份分析.仪器性能达到JJG768-2005A类标准(中华人民共和国国家发射光谱仪计量检定规程),综合性能达到国际同类仪器的先进水平.

1. DGS-Ⅲ单道扫描等离子光谱仪技术指标
1) 波长检测范围 190-520nm
2) 波长示值误差（理论与实际误差） <±0.03nm
3) 波长扫描重复性极差 <±0.003nm
4) 仪器分辨率
 Mn 257.610nm <0.008nm
 Fe 310.030nm <0.007nm
四铁光谱线( 309.990nm 309.997nm 310.030nm 310.067nm)
可分辨。
2. 仪器稳定指标
1) 仪器重复性（10次测量短期稳定性） <1.5%
2) 仪器稳定性（2小时长期稳定性） <2.0%
仪器所有技术指标全部优于JJG768-2005发射光谱仪国家计量检定规程对A类仪器的检定要求。

DGS-III型单道扫描光谱仪特点:
 单道顺序扫描单色仪:设计为C-T型单色仪,焦距为1000mm.由于采用大面积光栅,光学系统具有极高的光通量,这种系统具有极高的信背比(SBR)和光谱分辨率.使仪器的光路谱线清晰,杂散光低,检出限大为改善.保证了该系统在分析复杂样品时获得可靠数据.
 色散元件;采用3600gr/mm的大面积(110mmX80mm)离子刻蚀闪耀全息光栅.
 波长范围:190-520nm;
 优良的分辨率: ≤0.008mm
 采用40.68MH的RF发生器;输出功率:600W----1200W连续可调.
 输出功率稳定度: ≤0.1%.
 有安全保护系统监控水路,气路及抽风的工作状态,保证仪器的安全运行.
 可测定谱线与背景强度,提高痕量元素的测定精密度和准确度;
 测定每一个元素可同时选用多条谱线;
 全中文软件,方便用户使用仪器;
 容易操作,分析快速,结果准确;