仪器简介：

纳米划痕测试仪(10uN - 1N) 

可以测试薄膜和基底的临界附着力，划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。可以进行微拉伸实验。可实时记录摩擦力及摩擦系数的变化，以及用于纳米磨损测试。

瑞士CSM的纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度，适用的薄膜厚度一般低于800纳米。纳米划痕仪可以用于多种薄膜材料的检测分析，例如单层或多层PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性涂层等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物、以及有机材料等。

技术参数：

划痕测试单元：

划痕正向力载荷 10uN-1N
摩擦力 1N（或200mN）
摩擦力分辨率 6uN（或300nN）
划痕深度 200 um
划痕长度 120mm
划痕速度 0.4-600mm/min，连续可调 

高质量金相显微镜系统 ：
配有高分辨率的彩色CCD和与之匹配的图形采集系统
配有5X，20X、和100倍的物镜镜头，屏幕上放大倍率4000倍
在不拆卸、更换镜头的情况下，通过转塔可以在不同倍率镜头间切换使用
采用LED光源系统
软件控制光源系统的亮度和聚焦
点击鼠标即可实时存取试样表面的光学图像
全自动连续景深成像（Multifocus）
全景成像模式（Panorama模式，对划痕）
双显示器，一个用于测试模块的软件控制，一个用于光学图像采集、观察
配有成像分析软件：具有长度标尺，可以测试或显示光学图像中任意两点坐标，水平距离、垂直距离、直线距离

XYZ三方向全自动试样台（以CPX纳米力学平台为例）：

X方向移动范围： 120mm
Y方向移动范围： 70mm
有效工作面积： 70mmX20mm
定位分辨率：  0.1um
定位：  1um
Z方向自动移动范围： 30mm
分辨率：10nm
XYZ三方向移动控制：鼠标控制、键盘控制及操纵杆控制

主要特点：

高、高重复性精密纳米划痕测试系统
具有有源力学反馈系统校正样品形貌带来的法向力变化

实时记录正向力、摩擦力、摩擦系数随划痕距离的变化
具有前扫描、后扫描模式
往复划痕模式（磨损模式）
全自动多点划痕模式、阵列划痕模式
恒力划痕、渐进力划痕及台阶增力划痕模式
全自动连续景深成像
全景成像模式, 成像长度不低于30mm 
划痕的光学图像和划痕位置实时一一关联对应 
鼠标移动至任意划痕位置时，可以显示并读取该点对应的正向力、摩擦力、位移深度数值
鼠标移动至任意划痕位置时，可以观察到该点对应的光学图像
点击鼠标可以自动定义并记录临界载荷以及该点对应的摩擦力、声发射、位移深度数值
计算和显示单个试样不同位置划痕的临界载荷及其对应的声发射、摩擦力、位移深度的平均值和误差；
任意多条划痕曲线同时显示、或求平均
预约或定时实验功能
压头使用次数自动统计功能
对仪器硬件或测试功能具有用户不同等级权限设定(密码保护)功能
自动测试生成功能
多语言切换（如中文、英文、德文、日文、法文等） 
 

选件

客户可以根据经费和实际需求选择CPX或OPX纳米力学平台），在此基础上可以选择CSM公司其它的力学测试模块如UNHT（超纳米压痕模块），NHT（纳米压痕模块），MHT（微米压痕模块），MCT（微米综合力学测试模块），原子力显微镜模块等，以构建自己需要的微纳米力学综合测试系统

多种金刚石划痕针头选择（曲率半径2um,5um,10um等，锥角60度，90度等） 

真空、湿度与温度控制选件

集成原子力显微镜或共焦显微镜三维成像