X射线膜厚仪是针对高要求用户设计的，能够测量极精密的样品，如：微形部件或线路板上极微细的表面结构，它的新颖X－射线光学镜片，创新的X-射线光学原理，使这部仪器能产生非常小，但高辐射强度的测量点，所以，测量数十微米的面积的结构也变成可能。X射线膜厚仪配备了半导体接收器适合测量薄到数NM的镀层，还能测量出范围从元素氯（Z＝13）至铀（Z ＝92）。X射线膜厚仪主要应用于线路板测试、极细的铅框一片片的扫描（指定面积），如：硬盘镀层、细微的线。有极高，可编程的XYZ测量台及大移动范围，测量室为长方形内槽设计，容许放入大面积的物件进行测量。