PECVD燃烧水洗式尾气处理设备适用于：太阳能光伏、半导体、微电子等行业中多余的危害性气体.         

 处理的气体包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。

主要有以下优点：

1. 整机设计美观, 安全标准。

2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。

3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高