半自动光刻机
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原装进口MYCRO半自动光刻机,包含NXQ8008,?NXQ8006,?NXQ8006?Sapphire,NXQ4004,NXQ4006,NXQ4008,Refurbished?Mask?Aligners七个型号,是的光刻系统,该系列半自动光刻机广泛应用于半导体和微电子行业领域;NXQ光刻机主要是以全自动和半自动系统为主。以下是关于NXQ4000系列光刻机的介绍:
应用领域:
◆?LED?? ◆?MEMS?? ?◆?IC??? ◆?Mircro-optics
主要特点:
◆?支持2~6寸晶圆,支持碎片对准;
◆真空/压力接触曝光模式;
◆简单快速的手动晶圆装载方式;
◆红外背面对准模块;
◆分离式显微镜对准系统或CCD系统;
◆高倍率显微镜光学系统;
◆手动摇杆控制式对准平台系统;
◆增强型紫外光聚焦透镜系统;
◆支持大间隙对准;
◆支持NUV~DUV;
◆高灵敏度光强可控电源。
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