• 分辨率：(ppm)
• 外形尺寸：**(mm)
• 准确度：——(%)
• 重量：(kg)
• 测量范围：——(m)

微倾台架的倾斜角度±30′; 微倾台架倾斜角度分辨率6″; 系统的标准偏差激光部分〈 1/400000; 系统的标准偏差光学部分〈 1/200000; 光学系统分辨力3μm; 二维光电数据采集器1、2的光栅尺±3μm二维光电数据采集器1的摄像头分辨率640×480; 二维光电数据采集器2摄像头的分辨率2048×1536;仪器工作温度20±5℃; 仪器工作湿度范围< 70 %RH; 电源AC220±10%(50Hz) V;