喜开理RC2000-8
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产品属性
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材质 | 不锈钢 | 连接形式 | 螺纹 |
适用介质 | 空气 | 公称通径 | 1/4,3/8,1/2(mm) |
结构形式 | 活塞式 |
RC2000净化室用减压阀 型号:RC2000-8-LN-CY48B3E1-90 口径:1/4,3/8,1/2 RC2000系列采用禁油规格、不锈钢本体,适合半导体制造装置、 液晶制造装置总净化空气、N2的压力控制。另外,紧凑型·大流 量适合空气(N2)吹气。 ●禁油规格 进行精密洗净(连接气体部分),在净化室中从组装到包装进行一 条线生产。另外,连接气体部分没有使用润滑油脂。 ●紧凑型·大流量 面之跨距为50mm的紧凑型尺寸,但是实现了0.8m3/min的大流量。 (为压0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量) ●带可逆流机构(没有背压时) 排放侧压力,二次侧压力具有向侧排放的可逆流机能。 二次侧没有残留压力,是重视安全性的产品。