台湾FGTTY08R温度控制系统
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产品属性
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产品型号: | TY04-08 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
产品名称: | TY04-08 多段温度控制系统 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
特性 • 支持多种复合式温度控制监视机能. • 携带型移动方便:采用快速接头(具备防呆设计)操作简易 • 性全部感测点设定机能. • 警报器可由盘面强制关闭,并具备警视人员确认设定.消除机能 • 共享电压设计:AC90~240V • 支持RS485/RS422机能.
可应用类似设备:Aixtron(爱思强),Veeco(威科), 半导体磊晶设备,MOCVD系统,PECVD,CVD等设备上补强温度感测机能,简单安装,不需破坏旧系统,并可搭配PC监控软件透过RS485/RS422/RS232等通讯分析数据 |