TNX-25-537EM

规格

	TNX25-537EM
目标基板	MAX. W250 × L330 (mm) MIN. W50 × L50 (mm)
部件高度	Upper 10, 15, 20, 25, 30mm Lower 10, 15, 20, 25, 30mm
工作台座	4mm
N2气体供应源	99.99%以上0.4～0.7Mpa   300NL/min以上
基板输送高度（轧制线）	900±20mm
输入电源	AC200V-50/60Hz-3φ  40kVA 116A
设备外形尺寸	W1310×L5300※1×H1374※2 (mm)
整机重量	約 approx.  2100kg
运输速度	0.3～1.5m/min

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