白光干涉仪AE-100M
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地区:广东省 东莞市
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AE-100
产品用途
     结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含
产品特点
● 纳米深度3D检测
● 高速/无接触量
● 表面形状/粗糙度分析
● 非透明/透明材质皆适用
● 非电子束/非镭射的安全量测
● 低维护成本
级的3D图形处理与分析软体(Post Topo)
●  提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析
●  提供自动表面平整化处理功能
●  提供高阶标准片的软件自校功能
●  深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
●  线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度
●  (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)
●  区域分析方式提供图形分析与统计分析。
●  具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。
●  量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
高速精密的干涉解体软体(ImaScan)
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高度的分析算法则,让你不在苦候测量结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
● 平台XYZ位置数显示,使检标的寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比。
● 具有高的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。
● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。
● 具有自动布补点功能
● 可自行设定扫描方向
技术规格参数
型号AE-100M
移动台(mm)平台尺寸100*100 ,行程13*13
物镜放大倍率10X20X50X
观察与量测范围0.43*0.320.21*0.160.088*0.066
光学分辨力(um)0.90.690.5
收光角度(Degrees)172333
工作距离7.44.73.4
传感器分辨率640*480像素
机台重量(kg)/载重kg20kg/小于1kg
Z轴移动范围45mm , 手动细调
Z轴位置数字显示器分辨率1um
倾斜调整平台双轴/手动调整
 高度测量
测量范围100(um)(400um ,选配)
量测分辨力0.1mm
重复≤ 0.1% (量测高度:>10um)
≤10um(量测高度1um 10um)
≤ 5nm(量测高度:<1um )
量测控制自动
扫描速度(um/s)12()
 光源
光源类型仪器用卤素(冷)光源
平均使用寿命1000小时100W 500小时(150W)
光强度调整自动/手动
 数据处理与显示用计算器
中央处理运算屏幕双以上CUP
影像与数据显示屏幕17 " 双晶屏幕
操作系统Windows XP(2)
电源与环境要求AC100 --240 V 50-60Hz
环境震动VC-C等级以上
 量测与分析软件
测量软件ImScan测量软件
具VSI/ PVS/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配)
PosTopo 分析软件
分析软件ISO 粗燥度/阶高分析,快速传利业转换和滤波,多样的2D和3D
观测视角圆,外形/面积/体积分析,圆像缩放、标准影像文件格式转换
报表输出,程序教导量测等。
品牌/商标

rational

企业类型

制造商

新旧程度

全新

原产地

广东省东莞市