白光干涉仪AE-100M
价格:电议
地区:广东省 东莞市
电 话:0769-85316127
手 机:13728442411
传 真:0769-85316127
图文详情
产品属性
相关推荐
AE-100 | |||||
产品用途 | |||||
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含 | |||||
产品特点 | |||||
● 纳米深度3D检测 ● 高速/无接触量 ● 表面形状/粗糙度分析 ● 非透明/透明材质皆适用 ● 非电子束/非镭射的安全量测 ● 低维护成本 | |||||
级的3D图形处理与分析软体(Post Topo) | |||||
● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析 ● 提供自动表面平整化处理功能 ● 提供高阶标准片的软件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 ● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度 ● (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer) ● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。 ● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。 ● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 | |||||
高速精密的干涉解体软体(ImaScan) | |||||
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹 ● 垂直高度可达0.1nm ● 高度的分析算法则,让你不在苦候测量结果 ● 垂直扫描范围的设定轻松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择 ● 平台XYZ位置数显示,使检标的寻找快速又便利 ● 具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比。 ● 具有高的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。 ● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。 ● 具有自动布补点功能 ● 可自行设定扫描方向 | |||||
技术规格参数 | |||||
型号 | AE-100M | ||||
移动台(mm) | 平台尺寸100*100 ,行程13*13 | ||||
物镜放大倍率 | 10X | 20X | 50X | ||
观察与量测范围 | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 | ||
光学分辨力(um) | 0.9 | 0.69 | 0.5 | ||
收光角度(Degrees) | 17 | 23 | 33 | ||
工作距离 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | ||
传感器分辨率 | 640*480像素 | ||||
机台重量(kg)/载重kg | 20kg/小于1kg | ||||
Z轴移动范围 | 45mm , 手动细调 | ||||
Z轴位置数字显示器 | 分辨率1um | ||||
倾斜调整平台 | 双轴/手动调整 | ||||
高度测量 | |||||
测量范围 | 100(um)(400um ,选配) | ||||
量测分辨力 | 0.1mm | ||||
重复 | ≤ 0.1% (量测高度:>10um) ≤10um(量测高度1um 10um) ≤ 5nm(量测高度:<1um ) | ||||
量测控制 | 自动 | ||||
扫描速度(um/s) | 12() | ||||
光源 | |||||
光源类型 | 仪器用卤素(冷)光源 | ||||
平均使用寿命 | 1000小时100W 500小时(150W) | ||||
光强度调整 | 自动/手动 | ||||
数据处理与显示用计算器 | |||||
中央处理运算屏幕 | 双以上CUP | ||||
影像与数据显示屏幕 | 17 " 双晶屏幕 | ||||
操作系统 | Windows XP(2) | ||||
电源与环境要求 | AC100 --240 V 50-60Hz | ||||
环境震动 | VC-C等级以上 | ||||
量测与分析软件 | |||||
测量软件 | ImScan测量软件 具VSI/ PVS/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配) PosTopo 分析软件 | ||||
分析软件 | ISO 粗燥度/阶高分析,快速传利业转换和滤波,多样的2D和3D 观测视角圆,外形/面积/体积分析,圆像缩放、标准影像文件格式转换 报表输出,程序教导量测等。 |
rational
制造商
全新
广东省东莞市