优质膜厚监控片
价格:电议
地区:浙江省 嘉兴市
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产品属性
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4.金、银、银铝合金电极:
金电极晶控片(晶振片)适合大部分的应用,它具有低接触电阻,高化学温定性。金电极晶控片(晶振片)适合于低应力材料的镀膜监控,如金,银,铜的膜厚控制。
银电极有非常低的接触电阻和优良的塑变性。银电极晶控片(晶振片)适合在热负荷高的工艺(如溅射)中提供优越的性能。
银铝合金晶控片(晶振片),适合高应力膜料的镀膜监控,如SiO,SiO2,MgF2,TiO2等。
5.100%测试和检验:
为限度地提高晶控片(晶振片)的使用寿命、稳定而准确的沉积速率控制,每个晶控片(晶振片)都经过如下检查:
1)。阻抗——阻抗的检查有助于保证测量的稳定性和晶控片(晶振片)的使用寿命。阻抗指标体现了晶控片的电接触性和电极粘连度。
2)。频率——确保起始频率在较小范围内,有助于确保您准确的厚度测量。
3)。曲率——曲率的测试,是为了保证共振的稳定性,差劲的曲率将降低晶控片(晶振片)测量过程的稳定性。
4)。外观检测——每个晶体的电极均匀性、表面缺陷、以及其他的外观缺陷都得到检查,从而排除了较差的电极粘连性和可能的污染。