DPS双面探针台

双面探针台主要适用于所测样品需双面点针的相关电学测试，DPS点针方式为(Up/Down)上下点针；

另外，我公司针对于双面探针台点针方式特研发LR系列产品（L/R）左右点针解决方案；

一、基本配置信息

1.探针台本体

* 4”、6“、8“真空吸附卡盘

* 滚珠螺杆驱动卡盘装置

* X,Y 行程：150mm(可根据需求选择其它范围)

* 精密推拉装盘装置

* 手动卡盘360度调整

* 显微镜X,Y,Z平台移动行程25mm(可根据需求选择其它范围)

2.DC 探针座 Probe Head(可选其它或高频应用探针座)
* 外型尺寸：70 x 50mm
* X,Y行程：12mm
* Z行程：8mm
* ：1um
* 仰角调节装置
* 吸附方式：磁开关吸附（真空吸附可选）

3.高倍率显微镜系统(可选其它倍率光学显微镜)

* 放大倍率 1X-500X

注：可选更高倍率物镜，如：100X物镜，即总倍率1000X

* 光源光纤传导：1.5m

* 卤素灯光源：100W或更高

* CCD C-mount国际标准接口

* 目镜：WF10X/24，视场直径 24mm，独立矫正色差

* 物镜：10X , 20X, 50X，100X

* 双目头：瞳距调节范围55~75mm

* 上主体：分光比为50:50或0:100

* 管镜：1X NUV/VIS