传感器灵敏度高，有极小的始动流量。

传感器芯片采用热式质量流量计，无需 温度压力补偿，包装了传感器的高计量。

在单个芯片上实现了多个传感器集成，使传感器的量程比大大提高。

传感器的零点温度高。

全量程稳定性，高确度和优良的重复性。

低功耗，低压损。

相应速度快！

流量范围 sccm  

流程比100：1   1.5%