ASM142 氦质谱检漏仪是法国ALCATEL 公司新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪器。可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。该检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。符合美国真空标准AVS2.1 以及国际标准ISO3530 的标准。内置式标准漏孔，带自动温度补偿系统。开机5 分钟后完成全部准备工作，可以开检。数显工作界面；数字显示漏率，带音频报警。所有工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护：防止大气突然冲入。

技术规格:

灵敏度： 5.0×10^-12 mbar.l/s

漏率显示范围： 2 ×10^-12 ~1 ×10^-1 mbar.l/s (He)

达到检漏的时间（空盒时）：小于30 秒

发射电流显示： 0.2—2mA

检漏口对氦气的抽速： 1.3 升/秒

启动时间：小于5 分钟

接口尺寸: DN 25 KF

外观尺寸： 510×343×428mm

重量： 56Kg

电源：

220V 50Hz 单相

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