表面清洁度分析仪Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter Model LCD1000A/LCD1000M
LCD系列表面清洁分析仪为美国科诺研制的行业性分析仪器,可在分析测试水滴在液晶屏、晶圆(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基础上,进而分析Plasma效果,是一种基于界面化学分析系统的表面清洁度测试系统。 本系列表面清洁度分析仪由仪器主机和CAST?2.0水滴角分析软件两个部分组成。根据样品台移动方式不同,我们将仪器主机分为自动(LCD1000A)、手动(LCD1000M)两种。样品台尺寸及其控制行程可根据客户要求定制。我们为广大客户提供性能,价格合理的仪器以及化的表面清洁度分析仪产品,期盼为客户的研发与品质控制提供的服务保证。
一、产品优势: 1、人性化的设计,操作简单; →选购自动注射泵,可完成自动进液控制,可达0.02uL →自动修正镜头倾斜角度以及水平线倾斜角度 →按测试,软件自动完成拍照、分析敏感点、计算角度值 2、全区域测试,可支持各种规格面板 →480*480(LCD-400S) →750*750(LCD-700S) →900*700(LCD900S) →1400*1400(FPD) 3、数据库管理技术 →历史数据可查询 →可导出为EXCEL文档及BMP图片 →可录相AVI格式,供制作PPT所用 4、CAST2.0具有多项技术 →多达6种以上接触角计算办法 →多达12种固体表面自由能估算模型 →支持曲面校准技术 →支持粘附功计算、WBA分析等
二、功能实现: 1、测试前: (1)通过调整进样器前后、左右、上下移动(XYZ)及镜头俯仰角度和升降(Z向),实现调整焦距的目的。 (2)通过控制导轨前后、左右移动(XY),将注射泵移动至角落后,以方便装样。 2、测试过程中: (1)通过导轨前后、左右方向(XY)的移动控制,实现样品上不同点的水滴角度值的测试; (2)通过移动进样器升降移动(Z向),完成液滴移液过程(将水液滴转移到液晶屏上); (3)通过进样器注出液滴,进行角度分析,可达0.02uL。 3、测试实现方法: (1)通过相机捕捉液滴在液晶屏上的图片后,分析敏感点,计算得出角度值; (2)计算办法:θ/2法(WH法)或圆拟合法; (3)软件对镜头的俯视角度进行适当的修正,以期实现更的测量。
三、技术参数:软件分析基于CAST2.0分析系统 | LCD1000A | LCD1000M | 相关型号主题词 | 全自动型 | 手动型 | 主机 | 主机 | 概述 | 自动控制样品台 | 手动控制样品台 | 镜头水平X移动 | 自动:600mm 或更大行程 :0.01mm | 手动:600mm或更大行程 :0.1mm 带手柄 | 镜头水平Y移动 | 自动:600mm或更大行程 :0.01mm | 手动:600mm或更大行程 :0.1mm带手柄 | 镜头上下Z1移动 | 自动:25mm :0.01mm | 手动:25mm :0.01mm | 镜头倾斜调整 | 手动 | 手动 | 样品台水平 | 手动 微调 | 手动 微调 | 进样器控制XY | 手动 12.5mm 0.01mm | 手动 12.5mm 0.01mm | 进样器控制Z | 自动 25mm 0.01mm | 手动 25mm 0.01mm | 整机升降控制Z2 | 自动 25mm 0.01mm | 手动 25mm 0.01mm | 水平调整 | 手动微调控制样品台水平 | 样品台 | 600*600mm 或更大 | 进样器 | 自动进样注射泵 | 手动进样注射泵 | 进样器焦距调整:手动 | 光学CCD成像系统 | USB口视频捕捉设备 25帧/秒工业黑白CCD相机 10-50倍连续放大工业镜头 | 光学系统调整 | 一维水平角度调整机构 | 光源系统 | 可调亮度单色冷光LED光源,水滴角图像边缘更清晰 | 通讯接口 | 主机控制及视频系统控制均采用USB2.0通讯接口,兼容性更好、速度更快 | 软件 系统 | 水滴角计算方式 | 全自动计算 按“测试”,软件自动完成拍照、分析敏感点、计算水滴角值三个动作 | 水滴角计算办法 | 共6种:提供θ/2法、真实液滴法、圆拟合法、椭圆拟合法、曲线尺法,全面适用于分析动/静态水滴角值 | 液滴形态 | 5种分析液滴形态:停滴(2、3态)、悬滴、气泡虏获法以及插板法,多种液滴形态均可适用 | 随时间变化水滴角测试 | 25帧/秒随时间变化水滴角测试,提供软件触发技术 | 动态水滴角分析 | 前进角/后退角分析 | 表面自由能估算 | 提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman临界表面张力法等共12种表面自由能估算方法,不但能分析低能固体表面,也能分析高能固体表面,以及他们的分布(色散力、极性力、氢键值、路易斯酸碱等)。 | 粘附功计算 | 软件自动分析 | ü 自动曲面修正:上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正; | ü 自动水滴角值计算(θ/2 法)和人工计算水滴角值法切换 | ü 左右水滴角值计算与比较,平均水滴角计算 | ü 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能 | ü 自动生成曲线图 | ü 强大的数据库管理功能:备份、压缩、导出EXCEL表格 | ü 自动液滴量估算 |
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