测量范围：

100mm±10%×200mm±10%

铝膜测试仪利用涡流原理制造: 即被测蒸铝层靠近高频激磁磁场时, 感应产生涡电流, 因而产生涡流磁场, 此涡流磁场反作用于原来激磁磁场, 使传感器阻抗发生变化, 然后通过检测电路并进行放大, 输出与厚度相对应模拟电压。 为了减少漂移即减少重复性误差和提高测量准确度，本仪器应用智能功能单片机系统，即对测厚过程中非线性和零漂进行校正，因而提高了测量准确度。 ≡ 技术参数 ≡ 可测量范围与量程: 被测薄膜尺寸     100mm±10%×200mm±10% 测量量程         厚度90～800Å （0.009～0.08µm）               方阻95～0.47Ω/□  度： 测量准确度       厚度 ±(20Å+2%读数) 方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范围）     读数重现性       10Å  (同一测量点)