ASM142特点说明

l  新型质谱仪：

采用180度磁场偏移质谱仪，装配两具独立灯丝，可缩短待机时间，可使测漏仪可侦测到5.0E-12 mbar.l/s 之漏率

l  数字显示板：

四种操作方式，加强使用的友善性；采用数字及刻度的方式表示漏率，减少误读机会；以声响方式提醒使用者测漏情形。

采用高亮度LED数字显示漏率,读值容易且方便。

l  抽气系统：

粗抽系统采用ALCATEL 旋片泵及高真空分子牵引泵组合而成，真空值可达10E-5 mbar)，抽气速率可达10m³/h，在检测口位置高真空分子牵引泵对氦气的抽气速率为1.3 l/s。

l  操作简单：

具有自动归零调整功能，可选择漏率单位( mbar.l/s ; torr.l/s ; Pa.M3/s )，自动选择测漏模式(大漏-Gross mode或是微漏Normal mode)，可自动计算分流效应，清洁简洁的操作面板。

l  构造坚固：

采用低转速(27000 rpm)，入口端压力为10mbar，启动时间短，反应时间快(<0.5 sec)，可使用在严厉的制程环境，并可在不关机的情况下移动使用。

l  多样化功能：

在任何测试模式的功能指示数值。

可以移动使用。

有可外接的RS 232及模拟式I/O，可将量值输出。

在遥控器上可操作自动校正、自动归零和放大功能。

重量仅56kg 为目前市面上同类型测漏仪中轻机型