测量             Height (Z) :0.5μm
重复                    Height :below 1.2μm  , Volume :below 1%
放大倍率                    50X
光学检测系统              德国CCD
激光发生系统              红光激光模组

自动平台系统              全自动
测量原理                    非接触式激光速
X/Y可移动扫描范围       330mm(X) × 300mm(Y)  / 530mm(X) ×460mm(Y)
可测量高度            5mm
测量速度                      150 Profiles / sec
SPC 软件                   Cp、Cpk、Sigma、Histogram Chat、 X bar R&S、Trend、Scatter、Pdata report to Excel & Text 
计算机系统                   惠普双核P4 20寸LCD  Windows XP 
软件语言版本                简体中文，繁体中文，英文
电源                            单相 AC 220V, 60/50Hz
重量                            75kg
设备外形尺寸                668(W) x 775(D) x 374(H) mm
包装后尺寸                   790(W)× 880(D) × 630(H) mm