产品品牌：

MicroVu

产品型号：

MicroVu

型號	Excel651UM	Excel651UC	Excel652UM	Excel652UC	Excel654UM	Excel654UC
量測行程	650x650x160mm		650x650x250mm		650x650x400mm
外形尺寸	1311x1604x1608mm		1311x1604x1788mm		1311x1604x2088mm
重量	1530kg		1550kg		1550kg
承載重量	100kg		100kg		100kg
平臺材質	鋼構
基座材質	花崗岩
傳動方式	Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z
電控系統	伺服系統: CNC, 滑鼠, 搖杆
電源系統	93-264 VAC, 47-63 Hz,10 Amp
XY	Uxy=2.5+L/300μm		Uxy=2.8+L/300μm		Uxy=3.2+L/300μm
Z	Ux=2.5+L/150μm		Ux=3.0+L/150μm		Ux=3.5+L/150μm
XY 重現性	2.5μm		2.8μm		3.2μm
Z 重現性	2.5μm		3.0μm		3.5μm