产品品牌：

羲和

产品型号：

测厚仪

蓝宝石非接触测厚仪
非接触厚度测试系统。不受样本是否导电影响，适用于所有可让红外线通过的材料：蓝宝石、碳化硅，可以在衬底有胶膜、夹具及在上爉固定后的情况下测量。

■ 手动，半自动以及全自动解决方案。
■ 系统的Mapping功能可测量整片衬底

√衬底厚度	√厚度变化 (TTV)
√ 粗糙度	√ 翘曲度(Warp/ Bow)
√ Bow	√ TSV
√ 通孔深度	√ 侧壁角度