| 型号(Model) | PowerMetro L1200 | PowerMetro L1500 | PowerMetro L1800 | PowerMetro L2000 |
| 测量范围(mm) | X | 1000 | 1200 | 1500 | 1800 |
| Y | 1200 | 1500 | 1800 | 2000 |
| Z | 200 |
| 技术指标Technical Features |
| 影像摄取系统 | SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera |
| 分辨率 | 0.1um |
| 重复 | X/Y/Z=2.5um |
| 测量 | U1 x / y = (4.0+L/250)um |
| U1 z = (4.0+L/250)um |
| U2 x / y = (6.0+L/250)um |
| 光源照明系统 | 同轴光（黄色LED） 轮廓光（黄色LED) 环光（黄色7向14位） |
| 雷射激光系统 | Keyence LKG30 光点理论直径：30um 工作范围：+-4.5um 参照距离：30mm 光波长度：650nm |
| CCD两种对焦模式 | 快速对焦（约1.5秒）& 高对焦 |
| 雷射对焦 | 单点对焦/扫描对焦 |
| 缩放倍率 | 1X物镜 | 25X 50X 100X (分辨率：1280X1024 17") |
| 2X物镜 | 50X 100X 200X (分辨率：1280X1024 17") |
| 焦距/工作范围 | 1X物镜 | 92mm/80~93mm |
| 2X物镜 | 36mm/34~37mm |
| 机器特征Machine Features |
| 机器型式 | 花岗岩床台固定桥式 |
| 机器重量（净重/毛重） | 3800kg/4000kg | 4150kg/4400kg | 4500kg/4800kg | 4850kg/5200kg |
| 载荷 | 40kg |
| 运行速度 | X、Y=350mm/s | Z=200mm/s |
| 加速度 | 1000mm/s2 |
| 系统特征System Features |
| 控制系统 | 全自动CNC控制系统 |
| 驱动系统 | 四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组 |
| 软件配置 | 标准 | Smart Inspector Pro3.0 |
| 选配 | 制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等 |
| 操作系统 | Windows 7 |
| 外部工作环境Operating Environment |
| 电源 | 220V 50～60HZ >10A |
| 功率 | 2.0KW |
| 温度范围 | 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m |
| 湿度范围 | 40%~70% |
| 电脑配置 | 可选（实际出货以报价单为准） |
