本设备采用超高雷射共焦位移计为组件，用以测量光学玻璃的平面度及油墨厚度。再搭配高清晰影像系统,可以量测印刷后的线宽,线距尺寸,达到一机双用的功能,减少投资成本

      系统外观                       影像系统

激光量膜厚

三．机构设备

根据产品的测量要求，机台将采用立式架构，限度的提高了各轴的平行，Z轴采用AA级花岗岩,达到XY面与Z轴面的垂直减少在测量过程中带入过多的机构误差，确保机台在移动过程中有很好平面。

1. 底座：AA级花岗岩
2. Z轴立柱: AA级花岗岩
3. 传动部件：THK线轨及MITSUMI滚珠丝杠
4. 光学尺：万豪0.001mm光学
5. 雷射位移计：
6.  200万画素CCD
7. 30倍~150倍高解析镜头

五．测量方式

 雷射量膜厚:

       1.将待测工件放置在靠边治具上

CCD光学镜头量线宽线距:

1.同样上述的产品,不移开

2.调整镜头倍率调整焦距使影像清晰

3.操作软件量测功能量测数据