椭圆偏光仪 FE-5000产品特点：1. 椭圆偏光方式分析紫外到可视波长领域（250~800nm）。2. 奈米等级的多层膜膜厚分析 。3. 400波长以上的多频分光法，迅速量测出椭圆偏光光谱。4. 自由变换反射量测角度，可得到更详细的薄膜解析数据。5. 光学常数的数据库管理化、量测条件（Recipe）的登录功能等，让操作使用性更加便利。6. 小二乘法多层膜解析、光学常数量测。适用于膜厚、膜质的质量管理。?测量项目：椭圆偏光量测（tanΨ,cosΔ）光学常数分析（n:屈折率，k:衰减系数）膜厚分析?应用范围：半导体晶圆　晶体管闸极（Gate）氧化薄膜、氮化膜，电极材料等　SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe,BPSG,TiN　光阻剂光学常数（波长色散）化合物半导体　AlxGa（1-x）As多層膜、非結晶矽平面顯示器　配向膜　電漿顯示器用ITO、MgO等各种新材料　类钻碳薄膜（Diamond Like Carbon）、超传导性薄膜、磁性读取头薄膜光学薄膜　TiO2、SiO2、多层膜、抗反射膜、反射膜平版印刷领域　g 线（436nm）、h 线（405nm）、i 线（365nm）、KrF（248nm）等于各波长的n，k值评价?规格：膜厚量测范围?????? 0.1 nm ~?波长量测范围?????? 250 ~ 800 nm（可选择350~1000nm）感光组件?????????? 光电二极管数组512ch(电子冷却)入射/反射角度范围?? 45 ~ 90°电源规格??????????? AC1500VA（全自动型）尺寸??????????????? 1300(H)×900(D)×1750(W)mm?重量??????????????? 约350kg（全自动型）以上是椭圆偏光仪的详细信息，如果您对椭圆偏光仪的价格、厂家、型号、图片有什么疑问，请联系我们获取椭圆偏光仪的新信息。