_VMC222

_VMC322

_VMC432

_VMC542

_行程(mm)

_{200×200×200}

_{300×200×200}

_{400×300×200}

_{500×400×200}

_{外部尺寸(mm)}

_{1040×740×1620}

_{1040×740×1620}

_{1240×800×1620}

_{1440×1000×1620}

_重量(kg)

₂₄₀

₂₅₀

₃₁₀

₄₀₀

_承重(kg)

₂₅

₂₅

₂₅

₂₅

_测量

_XY轴*

_{E2=(3.0+L/200)μm}

_{E2=(3.5+L/200)μm}

_Z轴**

_{E1=(5.0+L/200)μm}

_速度

_XY轴

_200mm/S

_Z轴

_100mm/S

_光栅尺

_{1.0μm分辨率}

_CCD

_{1/2"CCD 黑白/彩色}

_光源

_轮廓光

_{LED冷光源，256级亮度可调}

_表面光

_{6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调}

_{光学系统***}

_{6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326}

_软件

_{Vispec测量软件}

_运动控制

_{自主的CNC直流伺服系统}

_保修期

_1年

_工作环境

_{温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%}

_{振动<0.002g，低于15Hz}

_电源

_{220V/50Hz/10A}