氦质谱检漏仪 |
1972 年由瓦里安公司首先在氦质谱检漏仪的设计中提出了逆流式的概念,使得目前的氦质谱检漏仪全部采用逆流式的方法进行检漏。 |
瓦里安的发明之一,优点在于: |
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·极大的排气量 |
·前级耐压高达 18mbar |
·压缩比提高了几个数量级却丝毫不增加泵的体积和重量,对质量轻的气体更为显著。 |
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VS系列氦质谱检漏仪 |
特性及优点 |
·多种语言和计量单位选择,可选中文界面 |
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·135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构 |
·新的电子线路及信号处理设计 |
·小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程 |
·快速清氦和快速响应 |
·测试口耐压高,可实现大漏检漏 |
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性能指标 |
PR02 |
MR15&MD30 |
性能 |
前级泵内置式 |
前级泵外置式及小车 |
前级泵 油式机械泵 |
DS-42 2 m3/hr (34 l/m) |
DS-302 14 m3/hr (232 l/m) |
涡卷式干泵 |
N/A |
TS-620 30 m3/hr (500 l/m) |
小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 |
5×10-12 atm cc/sec; 5×10-12 mbar l/s;5×10-13 Pa m3/sec helium |
测试口耐压 |
16 mbar,12 Torr,1600 Pa |
测试口处对氦气抽速 |
1.8 l/s |
校准程序 |
自动或手动(内置或外置) |
氦本底清零 |
按键清零,并具有零点追踪功能 |
操作界面 |
高清晰彩显,TFT触摸屏 |
语言选择 |
中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语 |
循环检测 |
可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点 |
响应时间 |
<1.0秒 |
设定点 |
标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点 |
通讯协议 |
RS-232 通讯借口,9600波特率(9芯窜口) |
执行标准 |
UL,CE,CSA |
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