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半自动探针台
价格：电议
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半自动探针台

XH-AP150半自动探针台与测试仪配接后，能自动完成对芯片的电参数测试。

产品特点  

■ 计算机配置Win XP操作系统；
■ 光隔离专用接口、GPIB接口；
■ MAP图动态显示测试全过程；
■ 测试结果数据库存储、查询；
■ 同步、延时、离线打点方式；
■ 圆形、探边等多种测试方式；
■ 遮光罩针对光敏器件的测试；
■ 接驳高分辨率CCD视频显示；
■ 图像识别自动对准测试位置；

技术指标  

性能名称

技术指标

可测片径

4″、5″、6″

工作台

定位

≤±0.015mm

步进分辨率

0.001mm

承片台

Z向行程

8mm

Z向定位

≤±0.005mm

Z向分辨率

0.001mm

θ向调节范围

±10°

θ向分辨率

0.001°

观察装置

双目体视显微镜
放大倍数7.5X～45X

遮光罩装置（适合对光敏感器件的遮光测试）

选配

上、下片方式

手动方式

外形尺寸（宽×深×高）

750mm×700mm×1500mm

环境要求  

■ 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜0.8KW，真空：< -80 KPa 
■ 温度：10℃-30℃ 相对湿度：＜60%