薄膜方块电阻测试仪
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薄膜方块电阻测试仪 |
薄膜方块电阻测试仪主要用来测量硅外延层、扩散层和离子注入层、导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜的方块电阻。它由电气测量部份(简称:主机)、测试架、四探针头及测量软件组成。 |
功能特点 | |
本套仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。主机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。主机配置了“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本套仪器使用专用软件进行数据采集,可实现自动换向测量、存储,求平均值,值、小值、百分变化率、平均百分变化率等内容。 | |
技术参数 | |
测量范围 探针 恒流源 直流数字电压表 供电电源 使用环境 重量、体积 |
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