硅芯电阻测试仪
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硅芯电阻测试仪
硅芯电阻率测试仪是按照我国国家标准GB/T1551-1995及美国材料与试验协会(ASTM)推荐的材料验收检测方法设计。它适合于测量横截面面积均匀的圆型,方型或矩形单晶锭的电阻率,在硅芯、检验棒电阻率测量上测量准确。由于硅芯电阻率测试仪的测量电流是从长棒两端进出,远离电压测量探针,因此减少了电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应,如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等,使得测量大大提高。
产品特点    
本仪器主要由电气测量部份(简称:主机)、测试台及两探针头组成。仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流开关,在测量某些材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护被测材料。仪器配置“小游移探针头”,间距为1.59mm的两探针头探针游移率在0.2%以下。保证了仪器测量电阻率的重复性的准确度。本机配用测量软件,设计语言为VC++,可对四探针、两探针电阻率测量数据进行处理并修正测量数据,特定数据存储格式,显示变化曲线、正反向电阻率平均值、电阻率的值、电阻率小值,给测量带来很大方便。
兼容性:适用于通用电脑,支持Windows XP、Vista。
技术参数    
测量范围
■ 可测硅晶体电阻率:0.005-50000Ω·cm
■ 可测硅棒尺寸:长度300mm;直径20mm(均可按用户要求更改)。
恒流源
■ 输出电流:DC0.001-100mA 五档连续可调
■ 量程:
    0.001-0.01mA(1-10μA)
    0.01-0.1mA(10-100μA)
    0.1-1.0mA
    1.0-10mA
    10-100mA
■ 恒流:各档均优于±0.05%
直流数字电压表
■ 测量范围:0-199.99mV
■ 灵敏度:10μA
■ 基本误差:±(0.004%读数±0.01%满度)
■ 输入阻抗:≥0.3%
电阻测量误差
■ 误差:≤0.3%
探针参数
■ 两探针头
■ 探针间距:1.59±0.01mm 探针直径Φ0.8mm
■ 游移率:<0.2% 探针材料:硬质合金(WC)
■ 探针压力:3±1N/单针
供电电源
■ AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率:12W
使用环境
■ 温度:23±2℃ 相对温度:≤65%
■ 无较强的电场干扰,无强光直接照射。
重量、体积
■ 主机重量:7.5Kg