Varian 公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。这种干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势，使众多应用领域的理想前级真空获得产品。

小巧紧凑的 IDP-3 干式涡旋真空泵以60 升/分钟的抽气速度为用户提供所需的洁净真空环境，极限压强可达250mTorr(约33Pa)。