MQ系列三座标测量仪：
技术参数：
形式：桥式结构，工作台固定
测量范围：X:500mm～1000mm
          Y: 500mm～2000mm
          Z: 300mm～1000mm
示值误差：E≤（2.5＋L/300~4+L/150uM）
探测误差：R≤(2.5~4)Um
测量系统：Renishaw接触式测头
长度测量系统：Renishaw精密光栅系统
探测系统：Renishaw测头系统
控制系统：PC总线DSP三轴矢量控制系统
驱动系统：直流伺服
电源：220V±10％
50/60Hz、1000W
压缩空气：（0.4~0.5）Mpa
压缩空气流量：200L/min（0.4Mpa）
使用环境：湿度（20±2）℃
          湿度55％~65％