产品详细描述
    測定範圍: X軸:100mm Z軸: 50mm
    驅動部真直度: 0.8μm/100mm
    驅動部上下移動量: 300mm
    驅動部傾斜角度: ±45°
    測針追蹤角度: 向上: 77° 往下: 87°
    驅動速度:
    測定速度: 0.2~0.5mm/s
    回程速度: 0.1~0.5mm/s,手動可
    測針上下作動:
    圓弧運動(R=375mm)
    測定力: 1~3gf(30mN)
    光學尺,分解能X軸0.05μm,Z軸0.2μm,Z2軸1μm
    指示:
    X軸:±(1+0.01L/100)μm
    Z軸:±(2+|4H|/100)μm,Z=測定高度(±25mm)
    測定倍率
    X軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍
    Z軸: 1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200倍
    數值輸出: RS-232C
    重量: 本体部: 約116kg
    電源: Via AC adapter (100~240V AC,50/60 Hz)