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产品属性
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FX型系列分子泵机组是分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。
FX分子泵机组技术性能:
产品型号 FX-110 FX-620
进气口法兰 DN100LF/DN100CF DN160LF/DN160CF
抽气速率L/S(对空气) >110 >600
压缩比??? N2
????????? H2 >108
5×102 >109
6×103
极限压强(Pa) 6×10-6/6×10-7 6×10-6/6×10-7
排气口法兰 KF25 KF40
使用轴承 精密机械轴承 精密轴承
输入电压频率(V/Hz) 220±20/50 380±20/50
环境温度(℃) 0~40 0~40
前级泵型号 TRP-4 TRP-6
启动时间(min) <3 <5
额定工作转数(rpm) 42,300 27,000
冷却方式 水冷可风冷 水冷
安装方式 任意 任意
重量(公斤) 52 -
长×宽×高 500×510×685 -
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