工作台 |
金属台面尺寸(mm) |
760×640 |
800×550 |
800×800 |
750×1000 |
1140×1360 |
1340×1660 |
玻璃台面尺寸(mm) |
550×350 |
650×450 |
650×650 |
650×850 |
1050×1250 |
1250×1550 |
运动行程(mm) |
500×300 |
600×400 |
600×600 |
600×800 |
1000×1200 |
1200×1500 |
Z轴升降行程 |
200mm |
工作距离 |
92mm |
X、Y、Z数显解析度 |
1μm |
X、Y坐标示值误差 |
≤(3+L/200)μm |
影像系统 |
摄影机: |
日本原装彩色1/2″CCD摄像机 |
变焦物镜倍率: |
(美国:NAVITAR)0.7~4.5X 或自动变焦镜头 |
视频总倍率: |
30X~190X |
物方视场: |
10.6~1.6mm 表面光源与透射光源均用LED,48组可编程。 | |
测量系统 |
Mclns全自动测量软件 | |