工作原理：

　　空气通过高效过滤后，阻尼层均压，使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区，从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。

主要特点：

　　1、能准确的使石墨舟承载装片车定位；

　　2、采用不锈钢制造，整机结构坚固可靠；

　　3、采用GK系列高效空气过滤器3只；

　　4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度；

　　5、净化风机噪音小于50dB。

6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。