便携式半导体特气检漏仪 XP-703D(图)
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图文详情
产品属性
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品牌 | 新宇宙 | 型号 | 型号:XP-703D |
类型 | 便携式半导体特气检漏仪 | 测量范围 | |
测量对象 | 环境管理的检测 | 测量 | 10秒以内 |
分辨率 | 尺寸 | (mm) | |
重量 | (kg) | 电源 | 5号碱性电池4只(5小时)/专用AC电源 |
型号:XP-703D
便携式半导体特气检漏仪
特点:
? 适合于检测半导体特气的微量泄漏。
? 采用声光报警。
规 格
型 号 XP-703D
检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内