品名:扫描探针显微镜
型号:NanoNaviⅡ 
概要:包含探针检定在内的微小区域表面粗糙度评价方法已被JIS规格化，具有高且客观性的粗糙度评价功能。另外操作顺序通过工艺流程图形式做引导，任何人都能够很容易地进行高分辨率的表面测量。 
特长 
1.用户至上为目标 
•简易的菜单
对用户而言能否稳定使用的瓶颈就是SPM的操作性。NanoNaviⅡ型控制器是以人类工程学为基础，搭配了方便、快捷、直观的测量引导功能(简易的菜单)，将SPM变成更为实用的仪器。
2.细致周到的支持功能
•ACTIVE Q
通过Q值控制功能(ACTIVE Q)的灵敏度调整，即使在真空或液相环境下，也能实现高灵敏度且高分辨率的测量。真空中的硬盘MFM像(左：没有ACTIVE Q)(右：有ACTIVE Q)  
•自动获取功能  样品表面形貌可以从凹凸较大到原子顺序用21bit的分辨率获取，能够完全发挥A/D转换器的能力。 
•高速的长方形扫描
根据测定用途可以变更扫描幅度比率，能够缩短90%的测定时间。 实现了大幅度的处理能力的提高。 
3. 以数据可信度的提高为目标
•探针评价功能
搭载了评价测定前后时探针状态的功能。能够确认探针的磨耗和破损程度，能够在SPM方面数据可信度的提高方面起到作用。 (上：新探针)(下：磨耗的探针)
•对应粗糙度的JIS规格
在行业界首次对应表面粗糙度JIS规格(ＪＩＳ R 1683:2007)。 减低数据的偏差，能够期待更高且客观的粗糙度测定。
•闭环回路控制(零配件功能)
排除了具有压电元件的磁滞和蠕变等的非线形性的影响，实现了高度的直线性和直行性。在微细领域的测量与加工方面，其得到了飞跃性的提高。
4. 为了能够得到更充实的解析
•丰富的绘图
准备了根据其用途能够选择的丰富的绘图。明确地传达测定数据的图像 (图是头发的表皮的3D绘图)。
•各种形貌的分析功能
 
标准搭载:零配件搭载
X?Y扫描电压:Z扫描电压 X Y: ±200V/18bit        Z:±200V/21bit 
同时测定:8192×1024×4画面,8192×8192×4画面
扫描顺序:±180
长方形扫描: 1:1、2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1024:1 2048:1、4096:1、8192:1
功能 • 自动获取控制
• Z 扫描限幅器对应 • 闭式回路控制
• ACTIVE Q控制对应
• SIS模式对应
 
软件 • 图像叠加功能(形貌/物性图像)
• 2信号第四曲线测定
• 自动测定调试功能
• 数据分析批量处理功能
• 3次元表示功能
• 表面粗糙度解析(Rms、Ra, Rms, 高低差、表面积等)
• 断面分析、平均断面分析
• 多功能同时断面分析(2～4个画面对应)
• 表面粗糙度JIS规格(JIS R 1683：2007)
• 探针评价功能
• 行编辑功能
• 自动断面侧面图功能(纹路宽度、pitch、角度分析)
• 形态学过滤器功能
• 粒子分析功能(粒子直径、粒子面积、粒子数量等)
OS Windows®XP