品名  扫描探针显微镜
型号  L-traceⅡ  
概要  可以全自动多点测定，可以对应至6英寸(8英寸)的大型样品。另外，通过采用精密扫描器和低相干光源，能够更正确且高地测量出超微需求的形貌。 
特长 
1. 大型样品的形貌测定
新一代大型Stage单位L-traceⅡ能够对应各种各样的大型样品的通用型SPM。能够搭载6英寸(8英寸)φ的试料，因为能够自动多点同时连续测定，是能够适应品质管理的系统。任何人都能够容易地进行超微测量仪表刻度的测定。 标准装备大型样品stage。可以全面观察至6英寸(150mm)φ的试料。(8英寸(200mm)φStage是零配件) 
2. 减少通过新Accurate扫描器进行Z动作时的X、Y方向的串线失真
新一代大型机L-traceⅡ不仅是关注大多数的SPM的信噪比与偏差问题，更着眼于起因于扫描器的X-Y串线失真的测量误差。使用公认的、更的蠕变与磁滞现象较少的「闭环固定偏差扫描器」，以及通过搭载X-Y串线失真很少的「Accurate扫描器」，大大提升了测定形貌的可信度。大多数的SPM所有的形貌测定输出的不对称性和X-Y形状歪曲的问题得到了解决。
3. 控制了因为低相干光学系引起的干渉条纹噪音
通过采用「低相干(光干渉很少)光源」，去除了高输出时的模式Hop噪音和反光的噪音发生，使S/N比提高了1.5倍。使超微需求的更高分辨率观察成为可能。
4. 通过对话式触摸屏的简易操作
把触摸屏装备在仪器的前部。能够容易地进行Stage的移动和光学显微镜的倍率变化。另外，还可以看到关于操作和保养的方法的提示，能够进行高效率的作业。
5. 通过测定导航功能的悬臂自动交換
就算是初次使用的人员，每次测定都不必看操作手册。导航功能将把从悬臂安装～调试～测定参数决定～图像处理与分析～直到输出的一系列的操作，用Wizard形式作出引导。悬臂会预先并排于Stage上的专用台，只要向光学显微镜的中心移动悬臂前端，就能够进行定位和组装。

主要产品规格
分辨率 水平：0.5nm 垂直：0.05nm
样品尺寸 150mmφ、厚度22ｍｍ对应200mmφ、厚度12mm对应 (可以选择样品Stage)
样品驱动范围  X-Y Stage 150mm x 110mm
扫描范围  标准： 90µm□／6µmH对应(Accurate扫描仪搭载)定位显微镜 内装变焦显微镜(X285～1100倍)搭载
测定功能
• AFM(接触模式)
• DFM(轻敲模式)
• PM(相位)
• FFM(摩擦)
• MFM(磁力) • SIS模式
• LM-FFM(横振动摩擦)
• VE-AFM/DFM(粘弹性)
• Adhesion(吸附力)
• CURRENT(电流)
• SSRM(控展抵抗)
• PRM(压电响应)、KFM(表面电位)
 
零配件 软性X线式静电除去系统(附有X线泄露防止罩)
检出系 低相干型光学杠杆方式,4分割变位检出系