2、仪器规格参数

2.1 金属台尺寸：455×126mm

2.2 外形尺寸：1040×620×990mm

2.3 运动行程：
        X坐标行程300mm；
        Y坐标行程125mm；
        Z坐标行程150mm（调焦）

2.4 摆动范围：+-15（绕Y轴旋转）

2.5 仪器重量：200Kg

2.6 X、Y、Z数显解析度：0.001mm

2.7 X、Y坐标示值误差：≤(4+L/25)μm

2.8 显示屏尺寸：19''

3、仪器电源

3.1 使用电源：AC180V/260V  50Hz